1.总结了微机械【xiè】悬臂梁的静【jìng】电、压电、热【rè】、电磁等驱动技术【shù】，推导了计及边缘效应的【de】梳状【zhuàng】静电【diàn】驱动器静【jìng】电力公式。
2.他们惊讶地发现【xiàn】，悬【xuán】臂【bì】弯【wān】曲的角度和【hé】液体的粘稠度具有线【xiàn】性关系【xì】，而悬臂的弯曲【qǔ】度可以通过电子设备【bèi】读出。
3., 总结【jié】了微机【jī】械悬臂【bì】梁的静电、压电、热、电磁等驱动【dòng】技术，推导了【le】计及边缘效应的梳状静【jìng】电驱动器静电【diàn】力公式【shì】。
4.总结了微机械【xiè】悬【xuán】臂梁的静电【diàn】、压【yā】电、热、电磁【cí】等驱动技术，推【tuī】导了计【jì】及边缘效应的【de】梳状静电驱动器静电力【lì】公式。